迷你型真空高低溫探針臺
鄭州科探儀器設備有限公司 (15136405012.skxox.com)
迷你型真空高低溫探針臺KT-0904T-RL
組件,溫度可低至-196℃,;真空系統可選機械泵或分子泵系統,真空度可達到10-3Tor。
高低溫真空探針臺應用：
可應用于低溫或高溫真空環境下被測樣品的電學性能測試分析,如：半導體/微電子,電子,機電,物理,化學,材料,光電,納米,微機電/MEMS,生物芯片,航空航天等科學研究領域,以及IC設計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產制造領域。
迷你型真空高低溫探針臺KT-0904T-RL參數
真空腔體
類型
加熱型350℃ 或者加熱制冷型 室溫到350℃ 室溫到-190℃
腔體材質
304不銹鋼
腔體內尺寸
φ90x40mm
腔體上視窗尺寸
Φ42mm(選配凹視窗Φ22mm)
腔體抽氣口
KF16
腔體進氣口
公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選
腔體出氣口
公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選
腔體正壓
≤0.05MPa
腔體真空度
機械泵≤5Pa (5分鐘) 分子泵≤5E-3Pa(30分鐘)
樣品臺
樣品臺材質
304不銹鋼
樣品臺尺寸
26X26mm
樣品臺-視窗 距離
30mm(可選凹視窗間距15mm)
樣品臺測溫傳感器
A 級PT100鉑電阻
樣品臺溫度
室溫到350℃(可選高低溫樣品臺 高溫350℃低溫-190℃)
樣品臺測溫誤差
±0.2℃
樣品臺變溫速率
高溫10℃/min 低溫5℃/min 最大值
溫控儀
溫度顯示
7寸人機界面
溫控類型
標準PID溫控 +自整定(可選30段編程控溫)
溫度分辨率
0.1℃
溫控精度
±0.5℃
溫度信號輸入類型
PT100熱電阻 (可選 K S B型熱電偶)
溫控輸出
直流線性電源加熱(液氮流量線性控制液氮制冷)
輔助功能
溫度數據采集并導出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線
探針
電信號接頭
配線轉接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2米
電學性能
絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA
探針數量
4探針(可定做6探針)
探針材質
鍍金鎢針
探針尖
10μm
探針移動平臺
X軸移動行程
12mm ±6mm
X軸控制精度
≤5μm
Y軸移動行程
12mm ±6mm
Y軸控制精度
≤5μm
Z軸移動行程
12mm ±6mm
Z軸控制精度
≤5μm
數碼顯微鏡
顯微鏡類別
物鏡放大+電子放大
顯微鏡放大倍數
100倍
顯微鏡工作間距
50-150mm
相機分辨率
1080P 60幀
相機信號輸出
HDMI輸出+USB輸出
LED可調光源
LED光源
顯示屏
5寸 屏幕一體機